本站消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种石英舟”，专利申请号为CN202420084763.8，授权日为2024年12月3日。
专利摘要：本实用新型涉及一种石英舟，包括骨架组件以及端板，骨架组件沿第一方向延伸，两个端板沿第一方向相对地连接于骨架组件的两端，至少一个端板设置第一流通通道，第一流通通道沿第一方向贯穿端板，第一流通通道内设置导气结构，导气结构将第一流通通道分隔为多个流通孔。上述端板不仅保证了石英舟内硅片表面工艺气体流动的均匀性，从而有助于提高扩散工序中硅片的方阻均匀性，同时加强结构提高了端板的强度，减少开设第一流通通道对端板的强度的影响，进而保证石英舟整体的强度，避免在石英舟取出或放入高温扩散炉的过程中受力变形。
今年以来微导纳米新获得专利授权45个，较去年同期增加了45.16%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。
数据来源：天眼查APP
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